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本发明描述用于通过热分解或氢还原的反应气体包括硅烷气体,其中,包括:将氯化氢加入到反应器中加入到反应气体并利用制备多晶硅的过程中,反应器内的热从氯化氢和硅作为附加热源之间的反应所产生的反应,EPC:europct ar158(1)EPC

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揭发描述 polysilicon 的筹备的一个过程所作,热分解或包括一种 silane 气体的一种反应气体的氢气缩减,除了反应气体到一个反应体中包含提出氢气氯化物和利用,在反应体内反应的热度生成从氢气氯化物,硅之间的反应作为一个其他的热度来源 ., EPC:EuroPCT ar158(1) EPC

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披露描述的多晶硅制备工艺由包括硅烷气体,其中包括介绍入反应器中除了反应气体氯化氢和利用,在反应堆内产生的氯化氢,与硅作为额外的热源反应的反应热反应气体,热分解或氢还原。EPC: EuroPCT ar158 EPC (1)

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透露由a描述多晶硅的准备的一个过程,热分解或喷射推进气体的氢减少包括硅酮气体,包括介绍氯化氢入反应器除喷射推进气体之外和运用,在反应器内反应热从在氯化氢和硅之间的反应引起了作为一个另外的热源。, EPC :EuroPCT ar 158(1) EPC

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透露由a描述一个过程为polysilicon,热分解的准备或喷射推进气体的氢减少包括硅酮气体,包括介绍氯化氢入反应器除喷射推进气体之外和运用,在反应器之内反应热从反应引起了在氯化氢和硅之间作为一个另外的热源。, EPC : EuroPCT ar158( 1) EPC
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aThe disclosure describes a process for the preparation of polysilicon by a, thermal decomposition or hydrogen reduction of a reaction gas including a silane gas, which, comprises introducing hydrogen chloride into a reactor in addition to the reaction gas and utilizing, within the reactor the heat of reaction generated 透露由a描述一个过程为polysilicon,热分解的准备或喷射推进气体的氢减少包括硅酮气体,包括介绍氯化氢入反应器除喷射推进气体之外和运用,在反应器之内反应热从反应引起了在氯化氢和硅之间作为一个另外的热源。, EPC : EuroPCT ar158( 1) EPC [translate]