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本发明是用于多层板和薄血小板的制造特别的绝缘体上的硅板的微型电子和光电应用,。

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该项发明为用于制造的多层板和薄型血小板,特别是硅芯片的绝缘板的微型电子和光电应用程序。

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发明用于多层板材和薄血小板,特别是微型电子和光电子应用绝缘体上硅板的制造。

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发明为生产多层板材和稀薄的血小板使用,显著地微电子学和光电子应用的绝缘体上硅薄膜板材。

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发明为多层板材和稀薄的小片的制造在绝缘体板材使用,著名地硅为微电子学和光电子应用。
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