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方法用于检测基材如表面缺陷硅在微电子和光电子应用中使用的绝缘体(SOI)衬底。

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方法上的缺陷检测表面基材例如芯片的绝缘基材[SOI]中使用微型电子和光电应用。

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如用于微型电子 (soi) 衬底上的硅衬底上的表面缺陷检测方法及光电应用程序。

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查出的表面损坏即方法在基体用于微电子学和光电子应用的绝缘体上硅薄膜(SOI)基体。

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方法为在基体查出表面损坏即。 硅在用于 (微电子学) 和光电子应用的绝缘体SOI基体。
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