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摘要:铜化学机械抛光(铜CMP)工艺15化学物理学的角度回顾和分析。

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摘要: 一个铜化学机械抛光 (铜 CMP) 过程 15 审查和从化学物理学的角度分析了。三个步骤铜 CMP 过程建模 15 集了基于实际的制造和模式一density 一step 一height (PDSH) 从麻省理工学院建模过程。要赶上模式依赖项,65 纳米测试芯片 15 设计以及在铸造中处理。下列模型参数提取过程,模型参数提取和验证测试数据从 65 纳米测试芯片。成功的模型预测结果和试验数据表明前者具有变化趋势相同,后者,最大偏差小于 5 的 15 毫微米之间的比较结果。第三方测试数据提供了进一步的证据来支持大性能 ofmodel 参数 optirnization。因为精确 CMP 过程建

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摘要:一个铜化工机械擦亮的(古芝CMP)过程15从化工物理看法回顾了并且分析了。三步古芝CMP被设定的处理塑造的15基于实际制造过程和样式一密度一步塑造从MIT的一高度(PDSH)。要捉住样式附庸, 65毫微米测试芯片15在铸造厂设计并且处理了。

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